Тонкопленочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники

В книге рассмотрены вопросы конструирования и технологии производства гибридных тонкопленочных микросхем. Описаны элементы тонкопленочных микросхем, материалы для их изготовления. Представлены необходимые сведения для расчета элементов. Рассмотрены методы, технология и оборудование для изготовления тонкопленочных слоев, рисунка элементов схемы, а также вопросы технологии сборочно-монтажных работ. Отдельно рассмотрены проблемы создания многокристальных больших интегральных схем. Кинга предназначена для инженеров и техников, связанных с производством микросхем и аппаратуры на микросхемах и приборостроении и других смежных отраслях